기계 사양
기판 크기 : 2 인치 배기 : 크라이오 펌프 + RP
전원 : 이온 빔 최대 가속 전압 1.0KV
최대 감속 압력 -0.5KV
최대 이온 전류 밀도 1.0mA/c㎡
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기판 크기 : 2 인치 배기 : 크라이오 펌프 + RP
전원 : 이온 빔 최대 가속 전압 1.0KV
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