기계 사양
ECR 소스 유형
자료 사이즈 100mm(부정형) 배치식
에칭 성능 80mm/min 이상
정밀도 Φ80mm내에서 5%(Sio2의 경우)
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
기계 사양
ECR 소스 유형
자료 사이즈 100mm(부정형) 배치식
에칭 성능 80mm/min 이상
정밀도 Φ80mm내에서 5%(Sio2의 경우)
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
