반도체(전공정) 건식 에칭 장치(고밀도) 메이커 아넬바 모델 L-310R-E 연식 1999 외부 치수 전시장 엔잔 테크니컬 센터 가격 가격 문의 문의 번호 F42708 재고 확인 · 문의 기계 사양 ECR 소스 유형 자료 사이즈 100mm(부정형) 배치식 에칭 성능 80mm/min 이상 정밀도 Φ80mm내에서 5%(Sio2의 경우) 첨부파일 ※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.