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건식 에칭 장치(고밀도)

메이커 아넬바

모델 L-310R-E

연식 1999

외부 치수

전시장 엔잔 테크니컬 센터

가격 가격 문의

문의 번호 F42708

기계 사양

ECR 소스 유형

자료 사이즈 100mm(부정형) 배치식

에칭 성능 80mm/min 이상

정밀도 Φ80mm내에서 5%(Sio2의 경우)

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