기계 사양
VD1F54(1/2)
터보 분자 펌프 (본체)
550L/sec
φ400 H550
VD1F54(2/2)
터보 분자 펌프 (전원)
EI-551
W210 D400 H135
A122854-8
첨부파일
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기계 사양
VD1F54(1/2)
터보 분자 펌프 (본체)
550L/sec
φ400 H550
VD1F54(2/2)
터보 분자 펌프 (전원)
EI-551
W210 D400 H135
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