기계 사양
VCCL63(1/2)
터보 분자 펌프 (본체)
회전 속도 36,000 RPM 제품 중량 20Kg
W310 D330 H545
VCCL63 (2/2)
터보 분자 펌프 (컨트롤러)
BOC 에드워즈
SCU-H300C
1996
전원 단상 200V 50/60HZ 1200VA 제품 중량 21Kg
W480 D500 H135
0000001309
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