기계 사양
최대 가속 전압 1.0kV 최대 감속 전압 10.kV 최대 이온 전류 밀도 1.0mA/cm2 이온 밀링 본체 중량 860kg 이온 소스 전원 중량 200kg 제어반 중량 250kg
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최대 가속 전압 1.0kV 최대 감속 전압 10.kV 최대 이온 전류 밀도 1.0mA/cm2 이온 밀링 본체 중량 860kg 이온 소스 전원 중량 200kg 제어반 중량 250kg
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