기계 사양
웨이퍼 사이즈:200mm W1855×D1155×H2290mm 로봇:JEL제 4축 원통 좌표형 클린 로봇
※이쪽은 장치가 아닙니다. 엔드 스테이션 부분 만됩니다. 주의해 주십시오.
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웨이퍼 사이즈:200mm W1855×D1155×H2290mm 로봇:JEL제 4축 원통 좌표형 클린 로봇
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