기계 사양
【관리 번호:G20202】 파나소닉
목표 크기 : φ300mm, 목표 수 : 1
기판 사이즈 : 8 인치, 기판 장착 가능 매수 : 1
스퍼터용 전원 : DC 전원 5kw
장치 사이즈(본체부) W800D1120H1555
사양 타겟:Cr 프로세스 가스:Ar 2015년 4월제
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기계 사양
【관리 번호:G20202】 파나소닉
목표 크기 : φ300mm, 목표 수 : 1
기판 사이즈 : 8 인치, 기판 장착 가능 매수 : 1
스퍼터용 전원 : DC 전원 5kw
장치 사이즈(본체부) W800D1120H1555
사양 타겟:Cr 프로세스 가스:Ar 2015년 4월제
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