기계 사양
배기 속도 3200L/S (N2) 도달 압력 10-9Pa 회전 속도 21000rpm 냉각 방식 수냉(유량 2~4L/min.) Ar 가스 최대 유량 1200mL/min. 플랜지 외경 φ450mm (VG350) H420
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기계 사양
배기 속도 3200L/S (N2) 도달 압력 10-9Pa 회전 속도 21000rpm 냉각 방식 수냉(유량 2~4L/min.) Ar 가스 최대 유량 1200mL/min. 플랜지 외경 φ450mm (VG350) H420
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