기계 사양
배기 속도 4100L/S 플랜지 외경 φ400mm
배기 속도(20℃):_Ar_3,300L/s
도달 압력: 10-7(10-9)Pa(Torr)
최대 유량 : Ar_2.0 × 103 (15) Pa · L / s (Torr · L / s)
배기 용량 : Ar_2.1 × 108 (1.6 × 106) Pa · L (Torr · L)
냉각강하시간_85/75(50/60)min(Hz)
흡기구 플랜지: VG300
질량:40Kg
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