기계 사양
1/3(터보 분자 펌프 ATH1000M 플랜지 외경 Φ335mm) 2/3(터보 분자 펌프용 컨트롤러 터보 분자 펌프 용 케이블)
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기계 사양
1/3(터보 분자 펌프 ATH1000M 플랜지 외경 Φ335mm) 2/3(터보 분자 펌프용 컨트롤러 터보 분자 펌프 용 케이블)
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