기계 사양
3σ≤6nm 비접촉 고정밀 선폭 측정 텔레컴파터
선폭 측정 범위 0.1μm~20μm 자동 조광 기능
워크 사이즈≦W140×D140mm H≦20mm
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기계 사양
3σ≤6nm 비접촉 고정밀 선폭 측정 텔레컴파터
선폭 측정 범위 0.1μm~20μm 자동 조광 기능
워크 사이즈≦W140×D140mm H≦20mm
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