CVD 장치 플라즈마 Plasma CVD
메이커 아넬바
모델 L-301P
연식 1999
외부 치수
전시장 쓰루 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 GC0127
기계 사양
1/5(본체 L-301P 전력 삼상 200V 50A 50/60Hz 치수 W1085 D690 H1630) 3/5(터보 분자 펌프 오사카 진공 TC440 플랜지 외경 Φ235mm 중량 약 60kg S/N.S440-695) 4/5(로터리 펌프 알카텔 2033 C2 배기 속도 430/5 10?1Pa 모터 출력 1.5kw 유량 3.6LS/N.349357) 5/5(오일 필터 유닛 아넬바 CLN-101M 입력 100V 0.8A 단상 50/60Hz 외부 치수 W340 D440 H425 S/N.
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