기계 사양
외형 치수: W5800 D1450 H2100
입력:3φ200V 60Hz 30KVA
300mm 각 기판 성막 전 세정용으로 사용
프로세스 : 로더 → UV → 버퍼 → 롤 브러시 세척 → 샤워 세척 → 최종 린스 → 에어 나이프 → 언로더
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
기계 사양
외형 치수: W5800 D1450 H2100
입력:3φ200V 60Hz 30KVA
300mm 각 기판 성막 전 세정용으로 사용
프로세스 : 로더 → UV → 버퍼 → 롤 브러시 세척 → 샤워 세척 → 최종 린스 → 에어 나이프 → 언로더
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
