기계 사양
드라이 펌프:SDE120-1 (073DN02530)
뿌리 펌프 : KMB1203-1 (07MN02498)
최대 배기 속도: 20,000L/min
도달 압력: 0.5Pa
흡기구 플랜지 : KF80
배기구 플랜지 : KF40
냉각수: 유량 4~8L/min
전원 전압 : 삼상 200V 11kVA
무게 : 320kg 외부 치수 W520 D1100 H1150
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