기계 사양
시리얼 T-1109735
전원:3상 200V 125A 60Hz 1/2:에칭 장치 본체 Φ125 웨이퍼 대응 석영 챔버 2개 2/2:제어 랙 KYOSAN 매칭 컨트롤러(MAK5)
펌프 포함 없음 W1000 D1850 H2030, 전원 W600 D1000 H1200
※A카세트 반송 커버 없음
※PC기판NG(수리나 교환이 필요)
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