스퍼터 장치
메이커 아넬바
모델 L-430S-FHL
연식 1999
외부 치수 W2630D950H1850
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 H80246
기계 사양
타겟 사이즈:φ4 인치, 타겟수:3
기판 크기: 150mm,
스퍼터용 전원:RF/DC 전원,
기판 가열 성능: 최고 온도 300℃
장비 크기: W2630D950H1850
삼상 200V 100A 50/60Hz
수량 본체 0.25MPa6.0?/min
타겟 0.25MPa3.0?/min 공압 0.5~0.8MPa
질량 1.2t 외치수 W2440 D1100 H1600 ・
컨트롤러 박스 외부 치수 W590 D1010 H1850 전원 박스 ② 외부 치수 W560 D700 H1780
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