기계 사양
타겟 사이즈:φ318×4t, 타겟수:4
기판 사이즈 : 6 인치, 기판 장착 가능 매수 : 7
스퍼터용 전원 : RF 전원 5kw
본 장치는 매엽식 자동 코팅 장치입니다.
진공 성능 1. 스퍼터 챔버 도달 압력 8x10??Pa 이하
2. 트랜스퍼 챔버 도달 압력 9.9x10??Pa 이하
3.로드 록 챔버 도달 압력 9.9x10??Pa 이하
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