플라즈마 반응기 - 플라즈마 처리 장치
메이커 야마토 재료
모델 PiPi
연식 2016
외부 치수 W438 D520 H565
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 HC0328
기계 사양
플라즈마 방식 : RIE 발진 주파수 : 13.56MHz
스테이지 치수 W130 D130mm
챔버 치수: W230 D230 H100
출력:50~200W 입력:AC100V 50/60Hz 15A
외부 치수: W438 D520 H565
반응 가스 (아르곤 1 계통)
첨부파일
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