건식 에칭 장치
메이커 아넬바
모델 L-201D-L
연식 1998
외부 치수 20002000x1900
전시장 쓰루 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 I20137
기계 사양
2 챔버 구조(에칭실+로드록실)
처리 매수 Φ3”기판 1장/배치 매엽 반송
에칭 속도 300A/min 이상 재료 SiO2
첨부파일
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메이커 아넬바
모델 L-201D-L
연식 1998
외부 치수 20002000x1900
전시장 쓰루 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 I20137
기계 사양
2 챔버 구조(에칭실+로드록실)
처리 매수 Φ3”기판 1장/배치 매엽 반송
에칭 속도 300A/min 이상 재료 SiO2
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