터보 분자 펌프 세트
메이커 시마즈 제작소
모델 TMP-803LM/EI-D1003M
연식 2004年8月
외부 치수
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 I70451
기계 사양
【1/3】TMP (PUMP)
도달 압력: 10-9Pa
회전수:35000rpm 배기 속도:800L/S
무게 : 31Kg 냉각수 재킷 포함
흡기구:ISO160BF(직경 225mm/8홀)
배기구:NW40
【2/3】컨트롤러
전원: 단상 200-240V 8Kg
【3/3】
제어 케이블 1.5m
첨부파일
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