기계 사양
Φ125 웨이퍼 대응 석영 챔버 2개
1/2: 에칭 장치 본체
2/2 : 제어 랙 KYOSAN 매칭 컨트롤러 (MAK5) 1KWRF 전원 누수 검출기 (WR-NA)
전원 : 3 상 200V 125A 60Hz
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기계 사양
Φ125 웨이퍼 대응 석영 챔버 2개
1/2: 에칭 장치 본체
2/2 : 제어 랙 KYOSAN 매칭 컨트롤러 (MAK5) 1KWRF 전원 누수 검출기 (WR-NA)
전원 : 3 상 200V 125A 60Hz
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