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건식 에칭 장치

메이커 도쿄 응화 공업

모델 TCE-3822

연식 2011

외부 치수

전시장 규슈 테크니컬 센터

가격 가격 문의

문의 번호 I70530

기계 사양

시리얼 T-1108729

전원 : 3 상 200V 125A 60Hz

1/2: 에칭 장치 본체 Φ125 웨이퍼 대응 석영 챔버 2개

2/2 : 제어 랙 KYOSAN 매칭 컨트롤러 (MAK5) 1KWRF 전원 누수 검출기 (WR-NA)

드라이 펌프별 판매

※PC기판NG(수리나 교환이 필요)

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