애싱 장치
메이커 국제 전기 세미컨덕터 서비스
모델 RAM-6500R
연식 2011
외부 치수
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 I70574
기계 사양
전원:3상 200V 15kVA 50Hz/60Hz
1/3 : 애싱 장치 본체 W600xD1300xH1790 웨이퍼 사이즈 5 인치 (4 인치로 변경 가능) 챔버 수 1 처리 매수 50 매 / 배치 RF 전원 1kW 13.56MHz 오토 튜닝
2/3: 컨트롤 콘솔 W570xD700xH1400
3/3: EBARA EV-N100S W280xD600xH580 배기 속도 10000L/min 도달 압력 0.5Pa
석영 튜브 1개 결품 중
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