건식 에칭 장치
메이커 쇼와 진공
모델 SPE-2010
연식 2001
외부 치수 W1000D1100H1600
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 I70641
기계 사양
1/4 에칭 장치(SPE-2010): 전원 3상 200V 50/60Hz 12KVA 압공 0.5MPa 20l/min N2 가스 0.3MPa/min 3인치 대응 도달 압력 2.7×10?3Pa 배기 시간 3.0×10?2Pa까지 분 이내 에칭 깊이 60nm
외부 치수 W1000D1100H1600 중량 1000Kg
2/4 냉각기 : NESLAB M75 3/4 로터리 펌프 : ALCATEL2012A / 2033 C2 2 대 4/4RF 전원 (T857-2) MAX500W 13.56MHz
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
