기계 사양
표적 크기: 126mm×178mm×6t
타겟 수 : 1, 기판 크기 : φ3 인치
기판 장착 가능 매수:4장×10
스퍼터용 전원 : RF 전원
기초 가열 온도: MAX150℃
본 기기외 치수:W2500D1100H1850
【관리 번호:I70643】SPH-2207-RF 쇼와 진공
전원 3상 200V 50/60Hz 23.8KVA
도달 압력 : 투입 / 취출 실 1.0 × 10-3Pa 이하 스퍼터 실 1.0 × 10-3Pa 이하 스퍼터 재 Ag,
스퍼터시 반송 속도 100~1000mm/min
외부 치수: 본 기기 W2500D1100H1850
전원 랙 W640D800H1850, 타겟 치수 126mm×178mm×6t, 기반 가열 온도 MAX150℃
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