기계 사양
전력:본체 3상 200V 22KVA EB 전원 3상 200V 26KVA 도달 압력 5.0×-7Torr대 배기 시간 3.0×10-5Torr까지 10분 이내 기판 가열 조작반 : W565D1020H1900 EB 전원 : W660D1050H1200 440Kg
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기계 사양
전력:본체 3상 200V 22KVA EB 전원 3상 200V 26KVA 도달 압력 5.0×-7Torr대 배기 시간 3.0×10-5Torr까지 10분 이내 기판 가열 조작반 : W565D1020H1900 EB 전원 : W660D1050H1200 440Kg
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