스퍼터 장치

메이커 아넬바

모델 L-332S-FH

연식 1998

외부 치수

전시장 엔잔 테크니컬 센터

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문의 번호 I80030

기계 사양

【관리 번호:I80030】L-332S-FH 아넬바

타겟 수:3inc×3, 기판 사이즈:2인치

스퍼터용 전원 : DC 전원 및 RF 전원

장치 크기: W1800×D1050×H1800

스퍼터 전원:PRF-065B/MDX-500W

입력:3φ200V 50/60Hz

EVP-32189

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