기계 사양
집진 효율 0.3μm 입자에서 99.99% 이상
풍량 15.4?/min
전원 100V 50/60Hz
필터 ATML-15-E41Z
외부 치수 W915 D610 H140
※신품 ULPA(집진 효율 0.1μm)로 변경하여 납품. 납기는 4주
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기계 사양
집진 효율 0.3μm 입자에서 99.99% 이상
풍량 15.4?/min
전원 100V 50/60Hz
필터 ATML-15-E41Z
외부 치수 W915 D610 H140
※신품 ULPA(집진 효율 0.1μm)로 변경하여 납품. 납기는 4주
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