터보 분자 펌프 세트
메이커 오사카 진공
모델 TG1810VW/TC1810
연식 2000年11月
외부 치수
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 J10614
기계 사양
배기 속도 : 1800L / min 오일 윤활 볼 베어링 타입 (260mL) 수냉식
흡기 플랜지 : 외경 350mm VG250 배기구 : NW40
도달 압력 : 1 × 10-6Pa 설치 자세 : 수직 ± 10 ° 질량 : 80Kg 배기구 : 얼룩 있음
컨트롤러 TC1810 : 전원 / 센서 케이블 : 없음
컨트롤러 외부 치수 W480 D300 H150
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