터보 분자 펌프 세트
메이커 오사카 진공
모델 TG2810VW/TC3200
연식 2000年11月
외부 치수
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 J10621
기계 사양
오일 윤활 볼 베어링 타입(260mL) 수냉식
흡기 플랜지 : 외경 350mmVG250 배기구 : NW40
도달 압력 : 1 × 10-6Pa 장착 자세 : 수직 ± 10 °
배기 속도 : 2800L / min 질량 : 100Kg 흡배기구 : 먼지 있음 컨트롤러 : 예 전원 / 센서 케이블 : 없음
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