기계 사양
3~6인치 웨이퍼 대응(수동 가능)
프로브용 암 이동량
X축 10mm Y축 10mm Z축 30~80mm
진공 기능 있음 펌프 부속 없음
실체 현미경 올림푸스 UIS2
접안 렌즈 10× 대물 렌즈 4×
전원 올림푸스 TL 100V 50/60Hz
외부 치수 W400 D350 H500
차광 박스 산와 밖 치수 W600 D530 H650
반도체 후공정 설비
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
