기계 사양
외부 치수 W1150D960H1780 중량 100Kg
장치 구동축 분해능:X.Y1μm Z25μm θ0.01도 스텝 XY축 최대 이동 속도 300mm/s 패터닝 영역 210×297mm 정밀도±10μm 이내 부재 두께 MAX30mm 테이블 사이즈 250×337mm
평면도 ±0.10mm 헤드 결함
전원:1상 100V 500VA 이하
장치 구성: 본체, 전장 BOX, 비상 액적 관찰 기능,
양의 부압 발생 장치, 제어용 PC, 애플리케이션
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