기계 사양
전원 : 단상 200V (50/60Hz)
배기 속도:56L/min(50HZ) 63L/min(60HZ)
회전수:1500(50Hz) 1800(60Hz)
도달 압력: 1.1Torr(146Pa)
헤드수:4 흡배기구 노즐:외경 10mm
무게: 14.3Kg
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기계 사양
전원 : 단상 200V (50/60Hz)
배기 속도:56L/min(50HZ) 63L/min(60HZ)
회전수:1500(50Hz) 1800(60Hz)
도달 압력: 1.1Torr(146Pa)
헤드수:4 흡배기구 노즐:외경 10mm
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