기계 사양
도달 압력 10??(10??)Pa(Torr) 흡기구 플랜지
UVG-150 Φ235㎜ 배기 속도 2100L/S 질량 19Kg
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기계 사양
도달 압력 10??(10??)Pa(Torr) 흡기구 플랜지
UVG-150 Φ235㎜ 배기 속도 2100L/S 질량 19Kg
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