기계 사양
제어 장치: 아넬바 PIC-050A-IP
입력 100V 3A 1φ 최대 출력 5200V 0.02A
외부 치수 W203 D272 H99
펌프: 아넬바 912-7135
배기 속도 30L/s 동작 범위 10-1~10-9Pa
기동 가능 압력 1.3Pa 이하 내용적 2.2L
최대 가열 온도 250℃ 흡입구 φ114ICF
외부 치수 W216 D133 H228
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