기계 사양
TEOS CVD
전원 : 3 상 200V 50A
전원: 단상 200V 40A
주파수 50Hz ※동작 확인 60Hz에서 실시
본체 W1370 D1800 H2000 1000Kg
기계식 부스터 펌프 W430 D704 H880 150Kg
로터리 펌프 D170 W519 H253 30Kg
오일 필트레이션 W250 D250 H460 20Kg
제해 캐비닛 W600 D600 H1500 50Kg
TEOS용 소스 탱크 2L
적용 기판 사이즈 최대 Φ6 인치 웨이퍼 1장 처리
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