기계 사양
흡기구 : ICF253 배기 속도 (질소) : 2400L / S
기동 시간 : 70 (분) 기동 재생 시간 : 105 + α (분)
도달 온도 : 15K 이하 도달 압력 b : 10-7Pa
질량:26Kg
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기계 사양
흡기구 : ICF253 배기 속도 (질소) : 2400L / S
기동 시간 : 70 (분) 기동 재생 시간 : 105 + α (분)
도달 온도 : 15K 이하 도달 압력 b : 10-7Pa
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