기계 사양
이온 펌프 플랜지 : ICF152 배기 속도 : 150L / S
도달 압력 : 10-8Pa 이하 외부 치수 : W230 D470 H340
무게:43Kg 관제사:전원 200-240V
외부 치수: W220 D295 H130 무게: 15Kg
전원 공급 : 전원 200-240V
외부 치수: W485 D480 H135 무게: 18Kg
총중량: 76Kg
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