기계 사양
전원 단상 100~240V 50/60Hz
가스 계통수 3
매스 플로우 컨트롤러 브룩스 인스트루먼트 UFC8100×3
본체 밖 치수 W480.D290.H90 본체 중량 4kg
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기계 사양
전원 단상 100~240V 50/60Hz
가스 계통수 3
매스 플로우 컨트롤러 브룩스 인스트루먼트 UFC8100×3
본체 밖 치수 W480.D290.H90 본체 중량 4kg
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