건식 에칭 장치(고밀도)
메이커 알백
모델 NE-730
연식 2002
외부 치수 (本体)1700 x1300 xH1600
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 K30154
기계 사양
기판 사이즈：Φ8 인치
【가스】
O2,Ar:: 각 100SCCM
CHF3,C4F8,CF4: 각 50SCCM
【전원】：ANTRNNA:RF500W,BIAS:RF200W
【배치/매엽】：로드 록식
【기판 유지 방법】：메카 척
【부속품】
・배기 가스 처리 장치
・드라이 펌프 PDR-060Cx2점
・칠러 RISSHI CS-400SW
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