엑시머 광 조사 장치 엑시머 세정 장치
메이커 멀티 플라이
모델 EXPR-03-SB1
연식 2007
외부 치수
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 K40127
기계 사양
조사 172nm 조사 영역 230mm각
대상 워크 사이즈 : 220x220 높이 4mm
전원 AC100V 15A 질소·물
외부 치수 W850 D850 H1200
부속 필터 W450 D700 H550
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