기계 사양
터보 분자 펌프 (오버홀)
배기 속도(N2) 2730L/s 도달 압력 도달 압력 10 -7
회전수 24600rpm
외부 치수 W420 D350 H375 중량 10kg
전원 AC200~240V 50/60Hz
컨트롤러 FTI-2300W(s/n.E10152KCR) NG
외부 치수 W210 D480 H150
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기계 사양
터보 분자 펌프 (오버홀)
배기 속도(N2) 2730L/s 도달 압력 도달 압력 10 -7
회전수 24600rpm
외부 치수 W420 D350 H375 중량 10kg
전원 AC200~240V 50/60Hz
컨트롤러 FTI-2300W(s/n.E10152KCR) NG
외부 치수 W210 D480 H150
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