레지스트 도포 장치
메이커 대일본 스크린
모델 SC-80EX
연식 2017
외부 치수 1520x2570x2600
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 K50713
기계 사양
웨이퍼 6인치 8인치
카세트 6.35mm 피치 x25단(8인치) 4.76mm 피치 x25단(6인치)
반송 정밀도 ±0.15mm 이하
인덱서 ID-A(사이드 로딩, 비흡착 타입)
레지스트계 노즐 독립 이동 PT 펌프
레지스트 노즐 최대 4기 탑재 첨단 부근까지 독립 온도 조절 가능
스핀 모터 회전수 -990~6000rpm
약액 LA900(900cp) 도쿄응화
린스 계 1 계통 OK73 신나
핫 플레이트 프록시미티 가열 20~250℃
쿨링 플레이트 프록시미티 냉각 20~25℃
온조 유닛 전자 냉열 21~25℃±3℃(0.1℃ 단위)
사양서 있음
첨부파일
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