기계 사양
6인치·8인치 실리콘 웨이퍼 세정 에칭 처리
1카세트 25장 처리 전 12조(상하 좌우 흔들림 모두 자동 처리)
탱크 로더, 에칭, 순수 세척, 건조, 언로드
W6650 D1600 H2600 건물 천장 높이는 H3600 이상 필요
무게: 4500kg
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기계 사양
6인치·8인치 실리콘 웨이퍼 세정 에칭 처리
1카세트 25장 처리 전 12조(상하 좌우 흔들림 모두 자동 처리)
탱크 로더, 에칭, 순수 세척, 건조, 언로드
W6650 D1600 H2600 건물 천장 높이는 H3600 이상 필요
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