기계 사양
흡기 플랜지: ISO250BF(외경 335mm)
배기구: NW40 도달 압력: 2×10-7Pa
배기 속도：（N2）2300L/S 설치 자세：자재
중량:76Kg *본체만:부속품 없음
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기계 사양
흡기 플랜지: ISO250BF(외경 335mm)
배기구: NW40 도달 압력: 2×10-7Pa
배기 속도：（N2）2300L/S 설치 자세：자재
중량:76Kg *본체만:부속품 없음
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