기계 사양
분해능 5nm ×8~×300,000 최대 자료 크기 150nm
구동 방식 2축 모터 XY축 40/80mm Z축 5~48mm R축 360° T축-10~90° 최대 자료 사이즈 150mmΦ 자료 두께 43mm
원소 분석 기능 (EDS 검출기 JED-2300)
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기계 사양
분해능 5nm ×8~×300,000 최대 자료 크기 150nm
구동 방식 2축 모터 XY축 40/80mm Z축 5~48mm R축 360° T축-10~90° 최대 자료 사이즈 150mmΦ 자료 두께 43mm
원소 분석 기능 (EDS 검출기 JED-2300)
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