기계 사양
전원 : 1 상 100V
마스크 치수:4/5 인치
웨이퍼 치수: 3 인치
마크 레이아웃:마크 간 거리 40~65mm
승강 스트로크 Max5mm
CCD 카메라:시야 사이즈 1.2×0.9mm
렌즈 배율×4
노광 광원부 : 유효 조사 직경 Φ100 UV 강도 60
스테이지 사이즈 Φ100mm
첨부파일
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기계 사양
전원 : 1 상 100V
마스크 치수:4/5 인치
웨이퍼 치수: 3 인치
마크 레이아웃:마크 간 거리 40~65mm
승강 스트로크 Max5mm
CCD 카메라:시야 사이즈 1.2×0.9mm
렌즈 배율×4
노광 광원부 : 유효 조사 직경 Φ100 UV 강도 60
스테이지 사이즈 Φ100mm
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