금속 건조 에칭
메이커 파나소닉
모델 E620I
연식 2013
외부 치수 1000x2500x2000
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 L40383
기계 사양
삼상 200V 75A 단상 100V 75A
무게 1550KG 4 인치 사양
EBARA 드라이 펌프 포함 SR20 s/nDFB03284
【사용 가스】
BCL3 200sccm CL2 200sccm
CF4 100sccm N2 100sccm
Ar 200sccm CHF3 100sccm
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