기계 사양
4인치 캐소드 3위안 스퍼터 DOWN
크라이오 펌프: U-10PU/C30
스퍼터 전원: MDX-052/MDX-5K(5KW)
적외선 램프 가열
프로세스 가스：Ar ※ 부품 취급 전용기
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기계 사양
4인치 캐소드 3위안 스퍼터 DOWN
크라이오 펌프: U-10PU/C30
스퍼터 전원: MDX-052/MDX-5K(5KW)
적외선 램프 가열
프로세스 가스：Ar ※ 부품 취급 전용기
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