스퍼터링 장치
메이커 시마즈 제작소
모델 HSR-521A
연식 1991
외부 치수 1200x900x1700
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 L40596
기계 사양
스퍼터업 방식 고주파 마그네트론 방전
타겟 거리 40~40mm 홀더 3개
기판 설치 매수 4장 최고 가열 온도 300℃
챔버 치수 φ450x220H
기판 홀더 치수 φ350
고주파 출력 1KW 13.56MHz 2 출력
삼상 200V 30A
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